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一、產品概述
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自動四探針測試儀是一款專為材料電阻檢測設計的精密儀器，融合的測量技術與智能操作功能，為科研實驗與工業生產提供穩定可靠的檢測解決方案。儀器采用鎢鋼材質探針，機械游移率≤0.3%，確保測試數據的準確性與重復性。
二、核心功能
測量參數：可同時檢測電阻率、方塊電阻、材料厚度等關鍵指標，滿足多維度檢測需求。
自動化操作：支持自動正 / 負電流輸出與電壓測量，兼容單點、五點、面掃描等多種測試模式，測試點數可自由設置。
數據處理：專業 V4.0 分析軟件可實現數據采集、統計分析、單位換算，生成 2D/3D 掃描圖譜與詳細測試報表，支持數據導出與打印。
靈活適配：探針壓力可調范圍 100-500g，載臺支持 2-12 寸圓形晶圓與 153mm×153mm 定制方片，適配不同規格樣品。
安全防護：具備限位量程保護、壓力保護、急停功能及異常警報，保障操作安全與設備穩定。
三、技術參數
| 規格項目 | 技術指標 |
|---|---|
| 方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□（FT-3110A）；10^-6～2×10^5Ω/□（FT-3110B） |
| 電阻率 | 10^-5～2×10^5Ω-cm（FT-3110A）；10^-6～2×10^5Ω-cm（FT-3110B） |
| 測試電流 | 0.1μA-100mA（FT-3110A）；0.1μA-1A（FT-3110B） |
| 電阻精度 | ≤0.3%（標準電阻） |
| 單點重復性 | ≤0.5% |
| 電源參數 | AC 220V±10%、50Hz，功耗＜600W |
四、適用領域
半導體材料：晶圓、半導體襯底、選擇性發射極擴散片、電鍍銅電阻等；
新型材料：鐵電材料、納米材料、非晶硅 / 微晶硅材料等；
電子器件：太陽能電池、LCD、OLED、觸摸屏等；
科研與生產：高校實驗室、科研院所材料分析、電子制造業質量檢測。
五、配置清單
標準配置：主機 1 臺、測試線 1 套、直線型四探針探頭 1 個、鍍金彈簧銅針與彈簧鎢針各 1 組、分析軟件 1 套、計量證書 1 份；
可選配件：2-12 寸晶圓樣品臺、定制規格探針、電腦 + 打印機、1-3 年延保服務。
六、產品優勢
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自動四探針測試儀 憑借寬量程測量、高精度數據、智能化操作與廣泛適配性，成為材料電阻檢測領域的優選設備。儀器通過嚴格質量檢測，提供 13% 增值稅專用發票，搭配專業的技術支持與售后服務，全程保障設備穩定運行。
